使用 CSmicro 紅外傳感器進(jìn)行光刻溫度控制
為了避免干擾敏感的制造過(guò)程，必須以非直接接觸的方式測(cè)量晶圓的表面溫度。保持均勻的溫度分布對(duì)于實(shí)現(xiàn)光刻膠的均勻?qū)雍穸戎陵P(guān)重要，并且必須直接在物體上測(cè)量。為此，使用具有長(zhǎng)波光譜范圍（8 μm -14 μm）的測(cè)溫儀。考慮到通常狹窄的空間條件，傳感器必須盡可能緊湊，以確?？梢哉_定位，*好垂直于晶圓表面。
CSmicro 是*緊湊的紅外傳感器系列，具有*小的傳感器頭，是此應(yīng)用的理想選擇。CSmicro 系列由 Optris 制造，因其堅(jiān)固的設(shè)計(jì)和高精度而脫穎而出。它具有微型傳感器頭，可以輕松集成到狹窄空間中，非常適合半導(dǎo)體制造環(huán)境。CSmicro 傳感器能夠測(cè)量從 -40 °C 到 1030 °C 的溫度，為制造過(guò)程的各個(gè)階段提供靈活性。
此外，CSmicro 傳感器具有快速響應(yīng)時(shí)間，可確保實(shí)時(shí)溫度監(jiān)控和控制。這種快速反饋對(duì)于保持光刻所需的嚴(yán)格溫度公差至關(guān)重要。溫度信號(hào)通過(guò)模擬信號(hào)傳輸?shù)?PLC，從而可以無(wú)縫集成到現(xiàn)有的過(guò)程控制系統(tǒng)中。CSmicro 的先進(jìn)光學(xué)元件和高質(zhì)量校準(zhǔn)可確保準(zhǔn)確可靠的測(cè)量，有助于提高半導(dǎo)體制造中的工藝穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量。

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