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電商MRO供應(yīng)鏈德國(guó)optrisc歐普士單體CSmicro在西門(mén)子工藝中使用紅外測(cè)溫儀實(shí)現(xiàn)可靠的硅溫度讀數(shù)

日期:2025-05-01 02:25
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摘要:在西門(mén)子工藝中使用紅外測(cè)溫儀實(shí)現(xiàn)可靠的硅溫度讀數(shù) 硅的發(fā)射率隨溫度、波長(zhǎng)和表面特性的變化而變化,從而在不同光譜范圍內(nèi)產(chǎn)生復(fù)雜的動(dòng)態(tài)行為。為了可靠地測(cè)量硅的溫度,建議使用 1 μm 左右的短紅外波長(zhǎng),因?yàn)樵谶@種波長(zhǎng)下,盡管溫度發(fā)生變化,硅的發(fā)射率仍然保持穩(wěn)定。雙色測(cè)溫儀具有優(yōu)勢(shì),因?yàn)樗鼈儾恍枰畛湔麄€(gè)視場(chǎng)來(lái)測(cè)量棒溫。當(dāng)存在氫氣時(shí),雙色測(cè)溫儀可與防爆外殼一起使用。 光纖 CTratio 雙色測(cè)溫儀可有效測(cè)量基底或沉積多晶硅薄膜的溫度。這些兩件式測(cè)溫儀結(jié)構(gòu)緊湊,配備有柔性光纖,可安裝在狹窄或難以觸及的區(qū)域。其設(shè)計(jì)...
在西門(mén)子工藝中使用紅外測(cè)溫儀實(shí)現(xiàn)可靠的硅溫度讀數(shù)
硅的發(fā)射率隨溫度、波長(zhǎng)和表面特性的變化而變化,從而在不同光譜范圍內(nèi)產(chǎn)生復(fù)雜的動(dòng)態(tài)行為。為了可靠地測(cè)量硅的溫度,建議使用 1 μm 左右的短紅外波長(zhǎng),因?yàn)樵谶@種波長(zhǎng)下,盡管溫度發(fā)生變化,硅的發(fā)射率仍然保持穩(wěn)定。雙色測(cè)溫儀具有優(yōu)勢(shì),因?yàn)樗鼈儾恍枰畛湔麄€(gè)視場(chǎng)來(lái)測(cè)量棒溫。當(dāng)存在氫氣時(shí),雙色測(cè)溫儀可與防爆外殼一起使用。
光纖 CTratio 雙色測(cè)溫儀可有效測(cè)量基底或沉積多晶硅薄膜的溫度。這些兩件式測(cè)溫儀結(jié)構(gòu)緊湊,配備有柔性光纖,可安裝在狹窄或難以觸及的區(qū)域。其設(shè)計(jì)可承受惡劣的工作條件,包括高溫、振動(dòng)和化學(xué)接觸。比色技術(shù)通過(guò)比較兩種不同波長(zhǎng)光的強(qiáng)度來(lái)提供**的溫度測(cè)量,從而減少因發(fā)射率變化、光學(xué)干擾或光路阻尼等因素造成的誤差。
不過(guò),有些設(shè)備還是傾向于使用單色測(cè)溫儀,因?yàn)閱紊珳y(cè)溫儀只測(cè)量單一波長(zhǎng),可能會(huì)受到發(fā)射率變化的影響。他們追求的是西門(mén)子過(guò)程的可重復(fù)性,而不是**的溫度。然而,在雙色裝置中,智能比率模式可以讓測(cè)溫儀了解發(fā)射率或比率的變化,即使兩個(gè)波長(zhǎng)的發(fā)射率變化不一致,也能確保測(cè)量的準(zhǔn)確性。

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2025/4/24

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